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2025-03-13点击量:668
今日,中微半导体配置(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)公布其等离子体刻蚀配置反响总台数环球累计出货高出5000台。这蕴涵CCP高能等离子体刻蚀机和ICP低能等离子体刻蚀机、单反响台反响器和双反响台反响器共四种构型的配置。等离子体刻蚀机,是光刻机以表,最要害的、也是商场最大的微观加工配置。因为微观器件越做越幼和光刻机的波长束缚,也因为微观器件从二维到三维繁荣,刻蚀机是半导体配置过去十年延长最疾的商场。这一要紧里程碑象征着中微公司正在等离子体刻蚀配置界限接续取得客户与商场的通常承认,也彰显了公司正在等离子体刻蚀界限已进入国际前线。
中微公司不休拓展等离子体刻蚀配置产物线,以餍足先辈的芯片器件造作日益苛苛的技能需求,早正在2004年,初创了“甚高频去耦合反响离子刻蚀的技能(D-RIE, Decoupled Reactive Ion Etching)。中微公司也独创了有专利庇护的双反响台刻蚀反响器,既可能单立操作,也可能双台同时操作的、输出量高、加工本钱低的特别机型。中微公司的刻蚀配置正在过去的20年积聚了大批的芯片出产线量产数据和客户验证数据,仍旧可能笼盖绝大大批的刻蚀行使,蕴涵各式高端的行使。十分是CCP和ICP的双台机,重复论证了双反响台之间刻蚀的线纳米以下,刻蚀速率已可能精准到0.1到0.2纳米程度,相当于头发丝直径约三十万分之一。中微公司的刻蚀机已正在5纳米及更先辈的微观器件出产线上大批行使。
中微公司的等离子体刻蚀配置不休增加商场拥有率,公司的CCP高能等离子刻蚀配置和ICP低能等离子体刻蚀配置的出货量近年来都维持高速延长。CCP配置正在线累计装机量近四年年均延长大于37%,已打破4000个反响台;ICP配置正在线累计装机量近四年年均延长大于100%,已打破1000个反响台。截至2025年2月底,公司累计已有高出5400个反响台正在国表里130多条出产线,周密达成了量产和大界限反复性出卖,取得了稠密客户和供应厂商的信托和增援。
据功绩疾报显示,中微公司2024年开业收入约90.65亿元生产设备,较2023年增长约28.02亿元。公司正在过去13年维持开业收入年均延长大于35%,近四年开业收入年均延长大于40%的基本上,2024年开业收入又同比延长约44.73%。此中,刻蚀配置收入约72.77亿元,正在近来四年收入年均延长高出50%的基本上,2024年又同比延长约54.73%。
按照商场及客户需求,公司明显加大研发力度,2024年正在研项目涵盖六类配置,超二十款新配置的开辟。公司开辟的一系列配置已正在本能上到达国际先辈程度生产设备,一面产物正在其细分界限环球当先。公司为先辈存储器件和逻辑器件开辟的六种LPCVD薄膜配置仍旧顺手进入商场。此中,正在进入商场后只一年,存储器出产线所用的LPCVD配置出货量已打破100多个反响台,2024年取得约4.76亿元批量订单。公司研发新产物的速率明显加疾,过去时时须要三到五年开辟一款新配置,现正在只需两年或更短时分就能开辟出有竞赛力的新配置,并顺手进入商场。中微公司归纳竞赛上风不休加强生产设备,聚焦升高劳动出产率,正在2022年到达人均出卖350万元的基本上,2024年人均出卖高出了400万元,各项营运目标已到达国际先辈半导体配置企业程度。
他日,中微公司将紧跟先辈造程工艺繁荣的最前沿生产设备,无间加大研发进入,正在产物策画、开辟和造作历程中,永远夸大技能的改进、产物的不同化和学问产权的庇护,不休开辟更多的高端配置产物,相持三维立体繁荣政策,通过有机发展和表延扩展,践行科创企业的“五个十大“生产设备,即”产物开辟十则“,”政策出卖十大规则“,”营运处置十大章法“,”心灵文明十大态度“,”指导才略十大重点“,达成高速、安定、强壮和安笑的高质料繁荣,尽早正在界限和竞赛力上成为国际一流的半导体配置公司!
中微半导体配置(上海)股份有限公司勉力于为环球集成电道和LED芯片造作商供应当先的加工配置和工艺技能处分计划。中微公司开辟的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类hahabet电竞,蕴涵十几种细分刻蚀配置已可能笼盖大大批刻蚀的行使。中微公司的等离子体刻蚀配置已被通常行使于国内和国际一线纳米及更先辈工艺的稠密刻蚀行使。中微公司近来十年着重开辟多种导体和半导体化学薄膜配置,如MOCVD,LPCVDhahabet电竞hahabet电竞,ALD和EPI配置,并得到了可喜的先进。中微公司开辟的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD配置早已正在客户出产线进取入量产,并正在环球氮化镓基LED MOCVD配置商场攻陷当先位置。别的,中微公司也正在构造光学和电子束量检测配置,并开辟多种泛半导体微观加工配置。这些配置都是造作各式微观器件的要害配置,可加工和检测微米级和纳米级的各式器件。这些微观器件是今世数码工业的基本,它们正正在革新人类的出产体例和生存体例。正在美国TechInsights(原VLSI Research)近五年的环球半导体配置客户写意度考察中,中微公司三次得到总评分第三,薄膜配置三次被评为第一。中微公司刻蚀配置hahabet电竞反映台环球出货超5000台
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