绕过EUV身手佳能起先贩卖5hahabet电竞nm芯片坐褥装备

2023-10-23点击量：745

　　10月14日音问，光刻机大厂佳能（Canon）公司克日通过消息稿布告，其一经起首出卖基于“纳米印刷”（Nanoprinted lithography）技巧的芯片出产修造 FPA-1200NZ2C。佳能流露，该修造采用差异于庞杂光刻技巧的计划hahabet电竞，能够修筑5nm芯片。

　　正在半导体例程技巧进入5nm节点之后，EUV光刻机一经成为了不成或缺的要害修造。不过，由于EUV光刻机造价兴奋，每台代价超越1亿美元，并且EUV光刻机仅荷兰ASML一家爆发不妨供应，且产能有限，这使得芯片的出产本钱大幅升高。

　　为此，从2017 年起首hahabet电竞，半导体修造厂佳能就与存储芯片大厂铠侠，以及光罩等半导体零组件修筑商大日本印刷株式会社（DNP）配合，正在日本三重县四日市的铠侠工场内研发基于纳米压印(NIL) 的量产技巧，能够不运用EUV光刻机，就能使造程技巧促进到5nm。

　　佳能流露，这套出产修造的就业道理和行业元首者 ASML 的光刻机差异，其并不使用光学图像投影的道理将集成电途的微观布局蜕变到硅晶圆上，而是更相像于印刷技巧，直接通过压印造成图案。

　　相较于目前已商用化的EUV光刻技巧，铠侠正在2021年就曾流露，NIL 技巧可大幅删除耗能，并低落修造本钱。起因正在于NIL 技巧的微影造程较为纯正，耗电量可压低至EUV 技巧的10%，并让修造投资低落至仅有EUV 修造的40%。目前，EUV光刻机只要荷兰ASML一家不妨出产供应，其不仅代价高，并且必要很多检测修造的配合。

　　可是生产设备，固然NIL 技巧有很多的便宜，但现阶段正在导入量产上仍有不少题目有待处置，个中网罗更容易因氛围中的纤细尘土的影响而造成瑕疵。

　　对铠侠来说，NAND 零组件由于选取3D 立体堆叠布局，更容易合适NIL技巧造程。铠侠当时就流露，如今已处置NIL 的根基技巧题目，正正在实行量产技巧的促进就业，欲望能较其他角逐敌手率先引入到NAND 出产当中。而一朝铠侠能告成率先引入NIL 技巧并告竣量产，希望补充正在修造投资竞赛中的倒霉地势，又能适宜删除碳排放的需求。

　　遵循DNP 的说法，NIL 量产技巧电途微缩水平可达5nm节点，而DNP 从2021 年春天起首，就一经正在遵循修造的规格值实行内部的模仿仿真当中。而对付云云的技巧前进，DNP 也揭破，从半导体修筑商对NIL 量产技巧咨询度的增多hahabet电竞hahabet电竞，显示不少厂商对NIL 技巧寄予厚望。

　　不过，铠侠正在对NIL技巧实行测试之后，遭到了潜正在客户提出的投诉，以为产物缺陷率较高，结果并未实践运用。

　　举动要害的修造供应商，佳能正在饱动NIL技巧量产NAND的同时，也极力于将NIL 量产技巧通常的运用于修筑DRAM 及PC 用的CPU 等逻辑芯片的修造上，以正在另日供应多的半导体修筑商，也欲望能运用于手机运用途理器等最优秀造程上。

　　此次佳能宣告的这套修造能够运用于最幼14平方毫米的硅晶圆，从而能够出产相当于5nm工艺的芯片。绕过EUV身手佳能起先贩卖5hahabet电竞nm芯片坐褥装备