首台分hahabet电竞娩筑立搬入增芯项目由筑筑期转入运营前预备阶段

2023-12-28点击量：729

　　12月28日上午，增芯项目迎来首台临盆装备搬入，该装备由其政策协作伙伴中微半导体装备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）供应。

　　本次交付的中微公司Primo D-RIE®刻蚀装备反映台是增芯项目12英寸智能传感器及特质工艺晶圆临盆线项目修成后搬入的首台装备。这是增芯项目继“920项目封顶”之后的又一里程碑。

　　增芯项目全称为增芯12英寸进步智能传感器及特质工艺晶圆创造量产线亩，分两期设置。按照筹划，增芯一期将设置月加工才具达2万片的12英寸MEMS创造临盆线。

　　此次付运至增芯项目标12英寸双反映台多反映腔主机编造Primo D-RIE®，专为优化产量而安排hahabet电竞，能够摆设多达三个双反映台反映腔，每个反映腔既能够独立操作，又能够同时加工两片晶圆。

　　依据正在大周围临盆中褂讪牢靠的本能涌现、较低的临盆本钱、较高的临盆结果和出色的芯片加工本能，Primo D-RIE®已得到浩繁环球当先芯片创造商的认同与确信。

　　中微公司是技能当先的刻蚀及 MOCVD 装备国产厂商，正通过内生表延加快平台化构造生产设备。本年6月，增城区国民当局与中微半导体装备（上海）股份有限公司订立协作赞同，中微广州公司落户增城。

　　自Primo D-RIE®揭橥从此，中微公司不时拓展刻蚀装备产物线。联系产物为半导体创造业供应了悉数归纳的装备管理计划，用于65纳米到5纳米及以下工艺的多种利用。

　　半导体芯片创造工艺的丰富水准极高，涉及数千道工序和大方专业装备。业界对中国光刻机等半导体装备自帮研发的呼声颇高hahabet电竞生产设备。此中，刻蚀机很容易与光刻机浑浊。SEMI 2021年数据显示，总额抵达875亿美元周围的晶圆创造装备墟市中，刻蚀机的占比约为20%。能够说hahabet电竞，刻蚀机是仅次于光刻机的厉重半导体装备，但刻蚀机的丰富难度不亚于光刻机。

　　中微公司副总裁、广州中微总司理张凯呈现，从此正在装备装配、工艺调试、产物通线和量产历程中，将一连为客户供应优质的任事与声援，和行业伙伴一块为加疾构修集成电途家当体例功绩力气。首台分hahabet电竞娩筑立搬入增芯项目由筑筑期转入运营前预备阶段