祝贺：广州增芯hahabet电竞首台出产装备搬入中微半导体刻蚀装备

2023-12-28点击量：610

　　12月28日上午，增芯项目迎来首台坐褥开发搬入，该开发由其战术协作伙伴中微半导体开发（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）供给。

　　本次交付的中微公司Primo D-RIE®刻蚀开发反映台是增芯项目12英寸智能传感器及特性工艺晶圆坐褥线项目筑成后搬入的首台开发。这是增芯项目继“920项目封顶”之后的又一里程碑生产设备。

　　当天上午， 增芯首台开发搬入典礼正在广州市增城智能传感器家产园实行。本年9月，增芯项目主体组织正式封顶，仅三个月的期间，项目首台开发Primo D-RIE®已正式搬入并装机。

　　增芯项目全称为增芯12英寸前辈智能传感器及特性工艺晶圆创造量产线亩hahabet电竞，分两期维护。按照计议，增芯一期将维护月加工才能达2万片的12英寸MEMS创造坐褥线hahabet电竞。此次付运至增芯项目标12英寸双反映台多反映腔主机体例Primo D-RIE®，专为优化产量而计划，可能筑设多达三个双反映台反映腔hahabet电竞，每个反映腔既可能独立操作，又可能同时加工两片晶圆。依赖正在大周围坐褥中安靖牢靠的职能展现hahabet电竞、较低的坐褥本钱hahabet电竞、较高的坐褥成果和精采的芯片加工职能，Primo D-RIE®已得回浩繁环球当先芯片创造商的认同与确定。

　　中微公司是工夫当先的刻蚀及 MOCVD 开发国产厂商，正通过内生表延加快平台化构造。本年6月，增城区百姓当局与中微半导体开发（上海）股份有限公司缔维系作订交hahabet电竞，中微广州公司落户增城。祝贺：广州增芯hahabet电竞首台出产装备搬入中微半导体刻蚀装备